Miniatyrvakuumpumper, ofte kalt små vakuumpumper på grunn av deres lille størrelse, er definert som følger: en miniatyrvakuumpumpe har ett innløp og ett utløp, i stand til kontinuerlig å skape et vakuum eller undertrykk ved innløpet og et svakt positivt trykk ved utløpet; arbeidsmediet er primært gass, og det er et kompakt instrument.
Ved å koble en forseglet beholder (initielt ved atmosfærisk trykk på 100 kPa) til en miniatyrvakuumpumpe og kontinuerlig evakuere den, vil gasstrykket inne i den forseglede beholderen til slutt falle under atmosfæretrykket, og nå et absolutt trykk på 60 kPa. Videre, gjennom spesielle teknologiske forbedringer, i tillegg til enkelt-pumpende miniatyrvakuumpumper, kan det utvikles dobbel-pumpe- og evakueringspumper (dvs. eksosenden kan generere relativt stort positivt trykk), brukes til trykksetting, fylling, overvinne systemmotstand, etc. Det finnes også unike vann-}dualformålspumper{8}}, som kan brukes i situasjoner som krever{10}}langvarig tomgang eller tørrkjøring, i motsetning til vanlige vannpumper som blir skadet ved tomgang eller tørrkjøring.